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化學氣相沉積反應室(仍在進行中)

化學氣相沉積反應室(仍在進行中)
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化學氣相沉積(CVD)是一種在真空條件下在襯底上沉積一層預燃氣體薄膜的過程。我目前正在為CVD設計反應室,它是CVD的主要組成部分,這里要添加的最后一部分將是螺線管加熱或晶圓加熱的設置。
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