新型HVPE襯底托架裝置

一種新型HVPE襯底托架裝置模型，包括真空反應(yīng)室,過渡腔,過渡腔進水嘴,過渡腔出水嘴,上進氣法蘭,上進氣接頭,下密封法蘭,下密封法蘭進水嘴,下,抽氣法蘭,齒輪一,齒輪二,旋轉(zhuǎn)軸承,壓板,齒輪套,支撐連接管,襯底托架一,襯底托架二,內(nèi)套管,外套管,手動鎖緊裝置,與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實用新型具有如下的有益效果:結(jié)構(gòu)設(shè)計合理,采用上進氣下抽氣的方式,反應(yīng)室內(nèi)氣體能夠均勻通過襯底片,襯底托架一既可以放一片襯底片,也可以安裝襯底托架二,可以同時放3片襯底片.文件格式為step。